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一種電池檢測(cè)方法、裝置及系統(tǒng)
成果領(lǐng)域:
推廣方式:
成果歸屬企業(yè): 深圳大學(xué)
成果鑒定時(shí)間:
成果介紹
本發(fā)明公開了一種在脈沖激光沉積系統(tǒng)中降低Sr2RuO4薄膜制備溫度的方法，該發(fā)明屬于材料制備技術(shù)領(lǐng)域。在脈沖激光沉積系統(tǒng)真空腔內(nèi)充入氮?dú)?，從而?shí)現(xiàn)了在降低制備溫度的同時(shí)制備出高質(zhì)量的Sr2RuO4薄膜。該方法解決了傳統(tǒng)氧環(huán)境下脈沖激光沉積制備Sr2RuO4薄膜所需要的超高生長(zhǎng)溫度問(wèn)題。此外本方法所用激光能量較低，工藝簡(jiǎn)單，效率高，可操作性強(qiáng)。
成果應(yīng)用案例介紹
機(jī)械設(shè)備>其它機(jī)械設(shè)備類>脈沖激光沉積系統(tǒng); 材料制品>膜材>釕酸鍶薄膜
聯(lián)系方式
電話/微信: 13822630888
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