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本發(fā)明公開了一種制備氮化鋁晶體的坩堝設(shè)備與方法，坩堝設(shè)備包括第一坩堝、第二坩堝及連接管，其中，第一坩堝的內(nèi)部與第二坩堝的內(nèi)部通過(guò)連接管連通，第一坩堝用于盛放氮化鋁源，第二坩堝用于盛放鎵源，且連接管在第一坩堝內(nèi)部的延伸長(zhǎng)度大于所述第一坩堝中盛放的氮化鋁源的厚度。相較于現(xiàn)有技術(shù)而言，本發(fā)明第二坩堝內(nèi)的鎵源生成的鎵蒸汽可以進(jìn)入到第一坩堝的反應(yīng)腔內(nèi)，由于鎵蒸汽能夠改變氮化鋁晶體的結(jié)晶特性，有助于控制氮化鋁晶體的成核與擴(kuò)徑生長(zhǎng)，因此，在制備氮化鋁晶體的過(guò)程中，通過(guò)向第一坩堝的反應(yīng)腔內(nèi)摻雜鎵蒸汽，不僅可以有效的降低氮化鋁晶體的成核密度，還可以擴(kuò)大氮化鋁晶體的尺寸，從而得到大尺寸的氮化鋁體單晶。

方法過(guò)程>制備方法>制備; 機(jī)械設(shè)備>其它機(jī)械設(shè)備類>坩堝裝置; 材料制品>晶體>氮化鋁晶體