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成果領(lǐng)域:
推廣方式:
成果歸屬企業(yè): 深圳大學(xué)
成果鑒定時間:
成果介紹
本發(fā)明公開一種晶體管型甲醛傳感器及其制作方法，其中，所述晶體管型甲醛傳感器包括基底、設(shè)置在所述基底上的柵電極、設(shè)置在所述柵電極上的介電層、設(shè)置在所述介電層上的復(fù)合薄膜、設(shè)置在所述復(fù)合薄膜上的源電極和漏電極，所述復(fù)合薄膜為吸附有金屬納米顆粒的氧化鋅薄膜。本發(fā)明所提供的晶體管型甲醛傳感器對甲醛具有特異性選擇性且抗干擾性強，解決了現(xiàn)有技術(shù)中甲醛傳感器穩(wěn)定性、選擇性較差的問題。
成果應(yīng)用案例介紹
測量實驗>傳感器>晶體管型甲醛傳感器
聯(lián)系方式
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