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本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于微陣列結(jié)構(gòu)加工的微型磨頭的加工裝置。一種用于微陣列結(jié)構(gòu)加工的微型磨頭的加工裝置，包括具有主軸的加工機(jī)床、工作臺(tái)、設(shè)于主軸的圓柱形銑磨頭、用于將圓柱形銑磨頭修整為圓錐形銑磨頭的導(dǎo)電修整輪、用于驅(qū)動(dòng)導(dǎo)電修整輪轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置、與圓柱形銑磨頭及導(dǎo)電修整輪均電連接的脈沖電源。微型磨頭的加工方法，利用上述微型磨頭的加工裝置對(duì)工件加工，圓柱形銑磨頭與導(dǎo)電修整輪均開(kāi)始轉(zhuǎn)動(dòng)；脈沖電源放電，圓柱形銑磨頭按預(yù)設(shè)的修整軌跡與導(dǎo)電修整輪的側(cè)表面接觸；導(dǎo)電修整輪將圓柱形銑磨頭修整為圓錐形銑磨頭。微型磨頭的微陣列加工方法：圓錐形銑磨頭按預(yù)設(shè)的加工軌跡在工件表面加工出微溝槽或微錐塔陣列結(jié)構(gòu)。